業界初のクリーンルームでコンタミレスにお応えします
本社工場においては2006年に業界初のクリーンルーム棟を建設するなどコンタミレスのご要望にお応えする体制を構築しています。すべてのクリーンルームには前室およびエアシャワーを完備しています。また純水装置を導入しており、設備洗浄時に使用する洗浄水の高品質化を実現しています。
■ 設備仕様 | |
---|---|
清浄度 | 各部屋にパーティクルカウンター常設 0.5µm以上の塵を監視・記録 |
フィルター | 室内側ウルパフィルター(0.15µm) |
温湿度 | 温度:20~25℃ 湿度20~60% |
洗浄度 | 1µs/cm(マイクロジーメンス)洗浄水からの鉄分は0.5ppm未満 |
エアー源 | オイルフリーコンプレッサー 125HP 2機 |